关于《滁州华瑞微电子科技有限公司半导体IDM芯片项目环境影响报告书》的批复(滁环[2021]397号)

发布日期:2021-12-30 14:24作者:行政审批科来源:滁州市生态环境局阅读: 字体:【  

滁州华瑞微电子科技有限公司:

你公司报来的《滁州华瑞微电子科技有限公司半导体IDM芯片项目环境影响报告书》(以下简称《报告书》,项目编码:2020-341103-35-03-031027)和南谯区分局预审意见收悉。经组织专家技术审查,现批复如下:

一、原则同意《报告书》结论。该项目位于滁州市南谯经济开发区双庙路和兴隆路交叉口西南侧,用地约100亩,项目一期新建生产厂房、综合办公及研发楼;二期购置生产设备,年产72万片6英寸晶圆的生产规模。

二、同意该项目按照《报告书》所列建设项目的性质、规模、地点、环境保护措施、总量控制方案、环境监测计划要求进行建设,并应重点做好以下工作:

1、进一步优化项目主体工程、公用工程、储运工程及污染防治设施的工程设计,采用先进的原料、设备、生产及污染处理工艺,提高清洁生产水平,减少污染物排放。

2、落实《报告书》提出的废气污染防治措施。加强生产工艺废气的收集处理,产生挥发性有机废气工序应在密闭空间或者设备中收集,严格控制无组织排放,按规范要求设置废气排放口。项目生产过程中产生的废气应进行分类收集、分质处理,工艺尾气经管道收集送至POU装置处理后与酸性废气一同经碱性喷淋塔进行处理,处理后的废气经过25m高(DA001、DA002)排气筒排放;碱性废气经管道收集由酸性喷淋塔处理后通过25m高(DA003)排气筒排放;有机废气经过管道收集由沸石转轮浓缩燃烧系统处理后通过25m高(DA004)排气筒排放;天然气燃烧废气采用低氮燃烧技术,废气经15m高(DA005)排气筒排放;废水处理站废气经过二级酸碱洗涤装置处理后通过15m高(DA006)排气筒排放。氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、磷烷、溴化氢、非甲烷总烃排放参照执行上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中表1和表3相关限值要求;天然气燃料废气执行《锅炉大气污染物排放标准》(GB 13271-2014)中表3标准,其中氮氧化物排放执行《关于印发滁州市锅炉及工业炉窑综合整治工作方案的通知》(滁大气办〔2019〕19号)中排放限值;NH3、H2S、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)排放标准中表1和表2相关限值要求;厂区内无组织废气排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)排放限值。

3、落实《报告书》提出的废水污染防治措施,厂区实行雨污分流、清污分流,项目污水采用分类收集、分质处理,规范设置废水排放口,厂区管网应可视化设置。项目生产过程中产生的工艺废水主要为酸碱废水、含氟废水、有机废水、研磨废水、氨氮废水,厂区内工艺废水根据废水种类分别进入相应的废水系统进行处理,氨氮废水经氨氮调节池+还原槽+pH调节槽+中间槽+二级氨氮吹脱系统+硫酸铵储槽处理后汇入含氟废水处理系统、酸碱废水处理系统进一步处理;含氟废水经含氟废水调节池+pH调整槽+反应槽+混凝槽+絮凝槽+沉淀槽+污泥浓缩槽处理后汇入酸碱废水处理系统进一步处理;研磨废水经研磨废水调节池+还原槽+pH调整槽+混凝槽+絮凝槽+沉淀槽+污泥浓缩槽处理后进入酸碱废水处理系统进一步处理;有机废水经有机废水调节池+pH调整槽+缺氧槽+好氧槽+二沉槽+污泥浓缩槽处理后进入酸碱废水处理系统放流池进一步处理;酸碱废水经酸碱废水调节池+二级pH中和池+放流池处理后通过市政管网进入南谯新区污水处理厂深度处理。纯水制备废水、废气处理设施排水、公用工程废水排水分质排入废水处理系统处理,生活污水经厂区化粪池处理后排入南谯新区污水处理厂深度处理,达标排放。厂区废水中pH、COD、SS、NH3-N、TP执行南谯新区污水处理厂接管要求,氟化物执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中相关标准。

3、落实《报告书》提出的噪声污染防治措施。加强噪声污染治理,选用低噪声设备,对噪声源采取合理布局、隔音降噪等措施,确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。

4、落实《报告书》提出的固体废物污染防治措施。加强固体废物的环境管理,分类收集固体废物。落实危险废物厂内暂存措施和回收利用措施,防止二次污染,固体废物暂存场所建设应符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及2013年修改单要求等文件中的相关规定。废去边剂EBR、废剥离液EKC、废IPA、废包装材料、废灯管、污水处理站污泥、废机油等危废应委托有危险废物处理资质的单位处理,其他一般固废妥善处理。

5、落实《报告书》提出的风险防控措施。项目厂房FAB、甲类库、废水处理站等应采取分区防渗措施,防止对地下水环境造成污染。项目设1座630m3事故应急池,收集事故性废水和初期雨水,落实事故水自动截断、收集措施,初期雨水自动截断、切换措施,确保事故性废水不直接排入地表水体,初期雨水不排入雨水管网。污染防治设施、设备在检修和故障时,应按《报告书》要求立即采取应急措施,必要时停止生产,并及时向当地生态环境部门报告。制定突发环境事件应急预案并报生态环境部门备案,强化风险意识,建立完善风险防范体系,加强安全管理,杜绝发生污染事故。

6、按《报告书》要求,项目以厂界设置200m环境防护距离,环境防护距离内不得建设敏感建筑。在工程建设和运营过程中,应建立畅通的公众参与平台,及时解决公众担忧的环境问题,满足公众合理的环境保护诉求,并主动接受社会监督。

7、落实《报告书》提出的跟踪监测计划,配备必要的分析设备,按规范安装在线监测设施,及时发现和解决项目在建设期、运行期的各种环境问题,确保周边环境功能不降低。

8、若项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动,你公司应严格遵照国家相关法律法规的规定,及时向我局报告,且待正式批准后方可开工建设。

三、工程建设应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环境保护“三同时”制度,各项环境管理、污染防治措施(生态保护措施)应一并落实。项目建成后,必须严格执行排污许可制度,在发生实际排污行为前申领排污许可证,并按照有关规定组织竣工环保验收。你公司应按照相关要求落实运营期自行监测计划,主动公开项目环评文件和验收报告,接受社会监督。

四、请南谯区分局按照《滁州市环保局建设项目环境保护跟踪管理办法(试行)》要求,负责该项目日常环保“三同时”管理,并加强项目施工期环境管理。请滁州市生态环境综合行政执法支队加强项目督查。