关于《全椒科利德电子材料有限公司半导体用高纯电子气体及前驱体研发平台建设及产业化项目(一期)环境影响报告书》的批复 (滁环〔2023〕 126号)

发布日期:2023-04-10 11:47作者:行政审批科来源:滁州市生态环境局阅读: 字体:【  

全椒科利德电子材料有限公司

你公司报来的《半导体用高纯电子气体及前驱体研发平台建设及产业化项目(一期)环境影响报告书》(以下简称《报告书》,项目代码:2111-341124-04-01-696005)和全椒县生态环境分局预审意见(全环评〔2023〕6号)收悉。结合专家技术评审意见,现批复如下:

一、原则同意《报告书》结论和分局预审意见。项目位于全椒县化工集中区西部拓展区,本次新增占地约40亩,半导体用高纯电子气体及前驱体研发平台建设及产业化项目(一期)项目投资24157.12万元,其中环保投资143万元,主要建设内容为:新增原料罐、吸附器、过滤器、分析仪器等设备,建设1条高纯氨提纯线和1条高纯氧化亚氮提纯线并配套建设环保工程、公用工程和辅助工程等。项目建成达产后可形成高纯电子气体生产规模16000吨/年,其中高纯氨气8000吨/年,高纯氧化亚氮8000吨/年。另进行高纯电子气体和半导体前驱体产品储存经营400吨/年

二、同意该项目按照《报告书》所列建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺、环境保护措施、总量控制方案、全椒县化工集中区规划环评文件及审查意见和下述要求进行建设。

1、按照《报告书》提出的现有工程存在的环境问题和整改要求,采取有效措施进行整改,确保各项环境保护要求落实到位。项目设计实施中应进一步优化本项目主体工程、公用工程、储运工程及污染防治设施的工程设计,采用先进的原料、设备、生产及污染处理工艺,提高清洁生产水平,减少污染物排放。

2、落实《报告书》提出的废气污染防治措施。加强生产工艺废气的收集处理,生产、输送、储存过程产生的废气采用密闭、负压收集并处理,定期开展泄漏检测工作,按规范要求设置废气排放口。高纯氧化亚氮纯化生产线精馏塔冷凝过程产生的不凝气、产品充装过程产生的充装废气、吸附剂再生过程产生的再生废气密闭管道收集后经加压低温一级冷凝通过15m高DA008排气筒排放;高纯氨纯化生产线脱轻塔冷凝过程产生的不凝气、产品充装过程产生的充装废气、回收钢瓶处理过程产生的回收钢瓶预处理废气密闭管道收集与脱重塔产生的釜残一起经三级水吸收处理,未吸收的废气再经一级酸吸收后经15m高DA009排气筒排放。项目生产工艺废气排放执行《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表45排放限值要求

3、落实《报告书》提出的废水污染防治措施。厂区实行雨污分流、清污分流,项目污水采用分类收集、分质处理,规范设置废水排放口。纯水制备装置浓水、水浴汽化器排水、生活污水和初期雨水经厂区现有污水处理站处理后,同循环冷却系统定期排水一起,接入集中区污水处理厂处理废水排放执行《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)表1间接排放标准和全椒县化工集中区污水处理厂接管标准后,接入集中区污水处理厂处理。废水排放方式严格按照滁州市环保局《关于全椒县化工集中区拓展区控制性详细规划环境影响报告书的审查意见》(滁环评函〔2016〕117号)执行,达标排放。

4、落实《报告书》提出的噪声污染防治措施。项目应选用低噪声设备,对噪声源采取合理布局、安装减振消声设施等措施,确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类区标准要求。

5、落实《报告书》提出的固体废物污染防治措施。加强固体废物的环境管理,分类收集固体废物。废酸液、再生废液和废分子筛依托现有危险废物暂存间暂存,委托有危险废物处理资质的单位处置。其他一般固废妥善处理。

6、落实《报告书》提出的风险防控措施。依托现有厂区已建成1100m3事故应急池和855m3初期雨水池,收集事故性废水和初期雨水,落实事故水自动截断、收集措施,初期雨水自动截断、切换措施,确保事故性废水不直接排入地表水体,初期雨水不排入雨水管网。按照《石油化工工程防渗技术规范》(GB/T50934-2013)要求,项目生产装置区、甲类仓库(仓库五、仓库六、仓库七)、丁类仓库(仓库八)、罐区(罐区三、罐区四)和分析化验楼等应采取分区防渗措施,防止对地下水环境造成污染。新建产线增加温度压力DCS控制系统和SIS安全系统,有毒、可燃气体检测仪等。污染防治设施、设备在检修和故障时,应按《报告书》要求立即采取应急措施,必要时停止生产,并及时向当地生态环境主管部门报告。制定突发环境事件应急预案,并报生态环境主管备案,强化风险意识,建立完善风险防范体系,加强安全管理,杜绝发生污染事故。

7、按《报告书》要求,项目需以厂界为边界设置510m环境防护距离。环境防护距离内不得建设敏感建筑。工程建设和运营过程中,应建立畅通的公众参与平台,满足公众合理的环境保护诉求,并主动接受社会监督。

8、落实《报告书》提出的跟踪监测计划,配备必要的分析设备,及时发现和解决项目在建设期、运行期的各种环境问题,确保周边环境功能不降低。

9、你公司应按照《建设项目环境影响后评价管理办法(试行)》开展建设项目环境影响后评价,对项目实际产生的环境影响以及污染防治和风险防范措施的有效性进行跟踪监测和验证评价,提出补救方案或者改进措施,并报我局备案。

10、若项目的规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动,你公司应严格遵照国家相关法律法规的规定,及时向我局报告,且待正式批准后方可开工建设。

三、工程建设应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环境保护"三同时"制度,各项环境管理、污染防治措施应一并落实。项目建成后,必须严格执行排污许可制度,在发生实际排污行为前申领排污许可证,并按照有关规定组织竣工环保验收。你公司应按照相关要求落实运营期自行监测计划,主动公开项目环评文件和验收报告,接受社会监督。

四、请滁州市全椒县生态环境分局按照《滁州市环保局建设项目环境保护跟踪管理办法(试行)》要求,负责该项目日常环保"三同时"管理,并加强项目施工期环境管理。请市生态环境综合行政执法支队加强项目督查。